![](https://www.labochema.ee/wp-content/uploads/2014/12/nano-electronics2-400x292.jpg)
Kirjeldus
Mikro- ja nanomeetriliste elektroonikakomponentide tootmine vajab spetsiaalseid keemiatooteid. Nende näideteks on keemiline auru ladestamine (CVD), keemiline lahuste ladestamine (Sol-Gel), aatomi kihi ladestamine (ALD), litograafia ja nanoskeemi söövitamine. See teadusharu kasutab ka elektroonilisi kemikaale nagu puhtad happed ja solvendid, gaasid, söövitid, puhtad elemendid ning kristalli substraadid.